IT之家 11 月 11 日消息,11 月 10 日,佳能在日本东京宣布,将于 2026 年 12 月上旬发售面向存储和逻辑芯片的 KrF(IT之家注:氟化氪)扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”。 ▲ KrF 扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a” 官方表示,通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间,这款 KrF 扫描式半导体光刻机新产品具备每小时 400 片晶圆的高产能;同时新开发了即使在高速驱动时也能进行稳定高精度